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mini CORI-FLOW™マスフローコントローラ

mini CORI-FLOW™マスフロー計器のPCボードには、電磁弁を高速かつスムーズに制御するためのPIDコントローラが搭載されております。用途に応じて、一体型直動型バルブや特殊用途のための別置き型バルブ(たとえば空気圧式バルブなど)と組み合わせることができます。液体用一体型バルブのバルブスリーブ上部にはパージコネクタが搭載されており、システム起動時にエアやガスを容易に除去できます。液体ドージング向けに、Bronkhorst® は流量制御のためのもう一つの選択肢をもっております。制御バルブの代わりにギアポンプを組み合わせたシステムであり、液体源を加圧して送液する必要がなくなります。

ガス用サーマルマスフローコントローラの代替に

旧来のサーマルMFCに比べ、コリオリ計測原理に基づくコントローラはより高い精度を有し、流体の物理的・化学的性質によらない点が長所です。コリオリタイプには流路に可動部品や障害物がありません。さらに、コリオリ式センサは熱伝導に基づくタイプのセンサより高速に応答します。mini CORI-FLOW™マスフローコントローラは同程度の流量キャパシティを有する典型的なサーマルMFCと同等のフットプリントをもっています。さらに、電気的には標準でアナログ入出力(0-5 Vdc / 4-20 mA)とデジタル通信(RS232)に対応し互換性を保つとともに、オプションでマルチバス(Profibus DP, DeviceNet™, Modbus-RTU or FLOW-BUS)に対応が可能です。機器は堅牢な耐候性(IP65)ハウジングを有しており、設計圧10 MPa、フェールセーフ:ノルマリークローズ(nc)またはノルマリーオープン(no)のコントロールバルブとの組み合わせが可能です。

一体型コントロールバルブ:
V10I  : ガス用コントロールバルブ (nc)
V11I  : ガス用コントロールバルブ (no)
V14I  : 液体用コントロールバルブ (nc)

適用分野

mini CORI-FLOW™マスフローメータ/コントローラは産業・工業分野(オプションでATEX Cat.3 Zone 2対応可)や、研究所、OEMなど幅広い分野に最適です。典型的な例は

  • パイロットプラント
  • 燃料電池 
  • 半導体プロセス
  • 食品・医薬品産業
  • 分析化学・分析機器
  • マイクロリアクタの液体ドージング
  • プラズマ表面処理
  • (石油)化学産業

特徴

"マスフローメータ"で述べられた特徴に加え、mini CORI-FLOW™マスフローコントローラは次のような特徴を有しております

  • 高速・安定制御
  • PIDコントローラ内蔵エレクトロニクス
  • コンパクトデザイン(サーマルMFCと同等のフットプリント)
  • 金属シール+Kalrez®プランジャーシート

流量範囲

モデル Lowest range Nominal range Highest range
ML120V21 0.1…5 g/h 2…100 g/h 4…200 g/h
M12V1NI 0.1…5 g/h 2…100 g/h 4…200 g/h
M13V1NI 1…50 g/h 20…1000 g/h 40…2000 g/h
M14V1NI 0.03…1 kg/h 0.2…10 kg/h 0.6…30 kg/h
M15 + Valve 0.2...5 kg/h 1...100 kg/h 3...300 kg/h

ダウンロード

詳細はカタログ"mini CORI-FLOW Compact Coriolis Mass Flow Meter/Controller for Liquids and Gases"をご覧ください


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