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mini CORI-FLOW™マスフローメータ


はじめに

Bronkhorst High-Tech B.V.のmini CORI-FLOW™シリーズはコリオリ計測原理に基づく高精度でコンパクトなマスフローメータ・コントローラです。このシリーズは低流量の計測制御向けにデザインされており、4種の製品でフルスケール5 g/hから300 kg/hをカバーします。このシリーズの特徴は"マルチレンジ"機能であり、お客様ご自身により、精度を維持したまま初期フルスケールからのレンジ変更が可能です。機器は防塵防滴のIP65耐候性ハウジングを備えており、高い堅牢性を有しています。

優れたコリオリ式センサー

mini CORI-FLOW™シリーズの計器は、振動計測システムを構成する独自形状のシングルループセンサーチューブを搭載しております。流体がチューブを流れるとき、コリオリ力によりいそうシフトが生じます。位相変化はセンサーにより検地され、内蔵PCボードにて処理されます。得られる出力信号は真の質量流量に厳密に比例します。コリオリ式質量計測は高速応答、高精度であり、設置が容易であり、本質的に双方向計測が可能です。更に、mini CORI-FLOW™は密度と温度の出力機能も備えております。

適用分野

mini CORI-FLOW™シリーズは、半導体プロセス、燃料電池、食品産業、製薬、(石油)化学産業、分析化学(GC, HPLC, SFCにおける超臨界CO2の測定・ドージング)、マイクロリアクタの液体ドージングなど、様々な分野においてガスおよび液体の計測および制御にご利用頂けます。

製品の特徴

  • 流体の性質に依存しない、直接質量流量計測
  • 高精度、高い繰り返し性
  • レンジ変更が容易(マルチレンジ機能)
  • 防塵防滴IP65ハウジング、ATEX認証(Cat.3, Zone 2/pending)
  • メタルシール構造
  • 双方向測定(オプション)
  • 密度・温度出力(スタンダード)
  • 標準のアナログ0…5(10) Vdc/0(4)…20 mAとデジタル通信
  • オプションのフィールドバスインターフェイス(DeviceNet™, PROFIBUS DP, Modbus-RTU, FLOW-BUS)
  • アラーム、(バッチ)カウンター機能

流量レンジ

モデル Lowest range Nominal range Highest range*
ML120 0.05…5 g/h 1…100 g/h 2…200 g/h
M12 0.1…5 g/h 1…100 g/h 2…200 g/h
M13 1…50 g/h 10…1000 g/h 20…2000 g/h
M14 0.03…1 kg/h 0.1…10 kg/h 0.3…30 kg/h
M15 0.2...5 kg/h 1...100 kg/h  3...300 kg/h

* 最大流量キャパシティは確保できる差圧に依存します(特に、ガス向けに用いられる場合)。

カタログ

詳細はカタログをご覧ください。

M12/M13/M14シリーズ:"mini CORI-FLOW Compact Coriolis Mass Flow Meter/Controller for Liquids and Gases"

M15シリーズ:"mini CORI-FLOW M15 Compact Coriolis Mass Flow Meter/Controller for Liquids and Gases"


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