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FLOW-SMS
マスフロー集積(サーフェスマウント)ソリューション

コンパクトなデザインに様々な機能を盛り込んだソリューションは多くのお客様に求められています。Bronkhorst High-Techは多くのお客様との密接な協働のなかで、FLOW-SMSシリーズを開発致しました。

計量・コンパクトかつ堅牢な搭載用レール上に1つまたは複数のマスフローセンサー/圧力センサーモジュールを搭載でき、コントロールバルブ、シャットオフバルブ、ミキシングチャンバ、フィルター、その他機能モジュールを、お客様のニーズに応じて搭載することが出来ます。仕様については、お打合せの上で詰めることができます。

流量センサーの流量レンジは約5 mln/minから50 ln/minの範囲からご選択頂けます(これ以上についてはお問合せ下さい)。圧力センサーの圧力レンジは0...10 kPaから0...1 MPaの範囲からご選択頂けます(絶対圧またはゲージ圧)。適用対象に応じて、食い込み継手、金属面シール継手、フランジ接続にも対応可能です。さらに、ご要求に応じて、事前テスト、評価試験、梱包をクリーンルームで実施することも可能です。

多用なモジュールとソリューションがございますので、最適なご提案のために最寄りの販売店・代理店またはメーカーにお問合せ下さい。

3D図面

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特徴

  • スペース効率に優れたコンパクトな構成
  • 経済的なソリューション
  • 優れた費用対効果
  •  チューブレス構成により、リークポイントの削減
  • トップマウント構造で、上部からアクセス可能でメンテナンスが容易
  • システム拡張や変更の柔軟性 
  • 事前テスト済みの「プラグ&プレイ」機器で、お客様ご自身の評価試験削減
  • アナログ入出力とデジタル通信(RS232, DeviceNet™, PROFIBUS®, Modbus, EtherCAT®, FLOW-BUS)

適用事例

FLOW-SMSシリーズは多くのマーケットにてご利用頂けます。例えば、

  • 真空/プラズマ/スパッタリング/コーティングプロセス
  • 半導体/太陽電池製造
  • 触媒評価設備
  • バーナー制御(溶接)
  • バイオテクノロジー/化学設備
  • 食品・飲料製造プロセス

カタログ

詳細はカタログをご覧下さい。

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