IQ+FLOW®
微小流量フロー・圧力測定・制御用マニフォールド・ソリューション

コンパクトな流量・圧力測定・制御機器は、装置メーカー様など多くのお客様に求められています。
かつては、旧来のマスフロー/圧力メータ/コントローラは約1.5"のフットプリントをもっていました(NeSSITMシステムの場合)。TNO-TPD (オランダのトップレベルの応用物理学研究所)との協働により、Bronkhorst High-TechはIQ+FLOW®マスフローセンサーを開発しました。MEMS (micro electro mechanical systems, micro solid state technology)技術により、ブロンコストはマスフロー/圧力メータ/コントローラのフットプリントを僅か0.75"に低減することに成功しました。

お客様向け特別デザイン

The IQ+FLOW®シリーズには下記の機能モジュールがございます。

  • マスフローメータ (流量フルスケール10 mln/min~5 ln/min程度)
  • 圧力メータ (圧力~100 psi程度)
  • コントロールバルブ
  • 三方バルブ
  • シャットオフバルブ
  • フィルタ
  • ガス混合チャンバ

お客様の御用途にあわせ、これらのモジュールを組み合わせ、コンパクトなマニフォールドに搭載致します。設計はお打合せの上で決定致します。マニフォールドはアルミニウムまたはステンレススチールから選択頂け、ガスまたは液体に適する入出口ポート(メネジ)を含めます。

多用なモジュールとソリューションがございますので、最適なご提案のために最寄りの販売店・代理店またはメーカーにお問合せ下さい。

特徴

  • 高品質
  • 高いゼロ点の安定性
  • コンパクトな構成による高いスペース効率
  • 経済的なソリューション
  • 優れた費用対効果
  • チューブレス構成により、リークポイントの削減
  • トップマウント構造で、上部からアクセス可能でメンテナンスが容易
  • 事前テスト済みの「プラグ&プレイ」機器で、お客様ご自身の評価試験削減
  • アナログ入出力とデジタル通信(RS232, RS485)

適用事例(分析機器)

フットプリント0.75"のコンパクトな機器は、様々な装置にご利用頂けます。

  • ガスクロマトグラフ(GC)のインジェクター部の流量・圧力コントロール
  • ガスクロマトグラフ(GC), 高速液体クロマトグラフ(HPLC)の検出部の流量制御
  • 水素炎イオン化検出器(FID)の検出部の流量制御

カタログ

詳細はカタログをご覧下さい。

Example of micro-fluidic manifold solution 3-Channel MFC
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