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MANI-FLOW

マスフロー・圧力測定・制御用カスタマイズド・マニフォールド・ソリューション

MANI-FLOWシリーズは主にOEM(Original Equipment Manufacturer)カスタマーのご要求に端を発し、経済的に多様な機能をコンパクトな機器としてまとめたものです。1996年より、様々な機器が設計・製造されてきました。

コンパクトなマニフォールド上に1つまたは複数のマスフローセンサー/圧力センサーモジュールを搭載でき、コントロールバルブ、2方/3方バルブ、シャットオフバルブ、フィルター、その他機能モジュールを、お客様のニーズに応じて搭載することが出来ます。

機器の仕様はお打合せの上で決定致します。適用用途に応じて、マニフォールド材料はアルミニウムまたはステンレススチールから選択し、プロセス接続はメネジが基本です。

さらに、ご要求に応じて、事前テスト、評価試験、梱包をクリーンルームで実施することも可能です。

多用なモジュールとソリューションがございますので、最適なご提案のために最寄りの販売店・代理店またはメーカーにお問合せ下さい。

適用事例

FLOW-SMSシリーズは多くのマーケットにてご利用頂けます。例えば、

  • 工業プロセス 
  • 医薬・製薬設備/装置
  • 分析装置
  • バイオテクノロジー/化学設備
  • バイオテクノロジー/化学設備
  • 食品・飲料製造プロセス

特徴

  • スペース効率に優れたコンパクトな構成

  • 経済的なソリューション

  • 優れた費用対効果

  •  チューブレス構成により、リークポイントの削減

  • モジュラー構成により、機能部品の交換が容易

  • 事前テスト済みの「プラグ&プレイ」機器で、お客様ご自身の評価試験削減

モジュール類

  • マスフローメータ
    最小流量: 0.1 ... 5 mln/min N2換算
    最大流量: 1 ... 50 ln/min N2換算 (これ以上はお問合せ下さい)

  • 圧力トランスデューサ(ピエゾ抵抗センサ搭載)
    最小圧力: 0.2 ... 10 kPa(絶対圧またはゲージ圧)
    最大圧力: 0.02 ... 1 MPa(絶対圧またはゲージ圧)

  • フィルタ
    焼結金属フィルタ(ステンレス製) ボア径0.5, 2, 7, 15 µm

  • コントロールバルブ
    流量・圧力制御用、最大Kv値1.0
    最大温度50℃
    フェールセーフ:ノルマリークローズまたはノルマリーオープン

  • ソレノイドバルブ
    シャットオフバルブ(ノルマリークローズまたはノルマリーオープン)
    三方バルブ


カタログ

詳細はカタログをご覧下さい。

Example of customer specific manifold solution
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