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EL-FLOW® Base - ラボラトリースタイル(IP-40ハウジング)

OEM向けガス用マスフローコントローラ

はじめに

EL-FLOW® Base シリーズマスフローコントローラは、標準的な機能・性能を採用した機器です。一般的なガス流量計測制御において、正確な計測と高速応答・安定した制御を実現します。EL-FLOW Baseはコーティングや溶接の(OEM)システム向けの経済的なソリューションです。


計測原理は熱式質量流量計測(サーマル式マスフロー計測)で、流量範囲(Air換算流量)0.2...10 mln/minから4...200 ln/minをカバーします。アナログI/Oのみならず、デジタル通信(RS232および/またはModbus-RTU)に標準対応致します。EL-FLOW Baseは、ブロンコスト製品群の中でもっともポピュラーでフィールドプルーブンなEL-FLOWシリーズの仲間です。


  • 特徴
  • 適用例
  • 流量範囲

特徴

  • 正確な質量流量計測制御
  • 高速応答と優れた繰返性
  • 実質的に圧力・温度影響なし
  • 優れた費用効率
  • アナログI/O信号: 0...5(10) Vdcまたは0(4)...20 mA
  • RS232通信
  • Modbus-RTU
  • ユーザー様ご自身で制御性の調整が可能(デジタル通信時) 

適用例

  • 食品・医薬・(石油)化学産業・発酵設備におけるプロセスガス計測・制御
  • バーナー制御(溶接)
  • 表面処理(CVD、コーティング、硬化処理)
  • 太陽電池製造
  • 分析装置

流量範囲(Air換算流量)

マスフローコントローラ (MFC);

PN10 (Pressure rating 10 bar)

レンジ

シリーズ F-201CB (Kv-max 6.6E-2)
min. 0,16 ... 8 mln/min
max. 0,4 ... 20 ln/min
シリーズ F-201AB (Kv-max 6.6E-2) min. 0,4 ... 20 ln/min
max. 1,4 ... 70 ln/min
シリーズ F-202BB (Kv-max 3.5E-1) min. 0,8 ... 40 ln/min
max. 4 ... 200 ln/min

Mass Flow Controller EL-FLOW Base F-201CBMass Flow Controller EL-FLOW Base F-201AB
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