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EL-FLOW® Prestige - 新世代のマスフローメータ・コントローラ

最新のガス用サーマル式マスフローメータ・コントローラEL-FLOW® Prestigeは、汎用性と使い勝手の点で画期的な進化を遂げました。お客様にとっての主な利点は下記の通りです。

  • 流量信号処理部の進歩
  • プロセス環境変化の影響を受けにくい非常に安定した流量制御領域
  • 進化した制御バルブ構造
  • PCボード上にてガスのコンバージョンが可能
  • 消費電力を大幅に低減
  • 顧客ニーズにあわせた構成や機能の追加が可能
最小レンジ 0.014...0.7 mln/min
最大レンジ 2...100 ln/min

お客様のプロセス環境に適合するマスフローメータ・コントローラ

EL-FLOW Prestigeマスフローコントローラの制御性能は、オーバーシュートなしで素早く設定値変化に追従するように工場にて調整されます。さらに、コントローラは機械的な衝撃や圧力のゆらぎ(同じシステム内にあり、ガスが経由する機器により起こり得ます)に対し高い耐性をもっております。

さらにお客様のプロセス環境にあわせ、オプションで更なる高速応答(セトリング時間t98%=500 ms(最高値))や更にスムーズな制御を実現するよう設定も可能です。コントローラの動作特性は、現場にてFlowTune™またはFlowPlot™を用いて調整することも可能です。フリーソフトウェアFlowPlot™は機器の診断、アラーム(警報)設定、カウンター(積算)設定にもご利用頂けます。

環境にあわせて選択可能なI/Oオプション

D-サブ9ピンコネクタの設定により、多様な入出力(I/O)に対応可能です。標準のRS232通信と多様なアナログ信号(0...5/10 Vdc, 0/4...20 mA)に加え、オプションでRS485通信、デジタル周波数/パルス出力、警報出力/リセット、バルブ開閉、アナログのバルブ出力を選択し追加できます。さらに、内蔵通信ボードにより多様なフィールドバス対応が可能です:DeviceNet™, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU/ASCII, EtherCAT® and FLOW-BUS

FLOW-BUSはRS485通信に基づくフィールドバスの1つであり、Bronkhorst® がマスフロー計測制御のためにデザインしたものです。更に、LabVIEW™ (National Instruments社のグラフィックソフトウェア)ユーザーの利便ため、FLOW-BUS™機器向けに動作試験済みのプラグ&プレイドライバを提供可能です。デジタル"マルチバス"通信についての詳細はこちら

所有・保全コストの削減

EL-FLOW Prestigeはマルチガス・マルチレンジ (MG/MR)機能*により高い順応性を有しております。25ガス対応に拡張されたMG/MR機能はソフトウェアFlowTune™またはPLCから容易に設定可能であり、設定の度に機器をシステムから取り外す必要がありません。さらに、他のガスや混合ガスについてはオンラインのフリー計算ツールFluidat®をご利用頂くと、コンバージョンに必要な精確なガスの性質を計算することができます。

EL-FLOW Prestigeのユーザーは現場で機器のレンジ変更が可能ですので、取り外して再校正を行う時間と費用を削減できます。さらに、OEM用途ではスペア用在庫の種類・点数を劇的に減らすことができ、コスト削減につながります。

* EL-FLOW Prestigeの運転温度範囲は-10...70℃ですが、MG/MR機能は0...70℃の範囲でご使用頂けます。

カスタマイズ可能な入出力信号

指示設定のためのアナログ/RS-232/フィールドバス通信I/Oに加え、EL-FLOW PrestigeはDサブ9ピンコネクタの5番ピンの構成をカスタマイズすることができます。デジタル周波数/パルス出力、アラーム出力/リセット、外部設定信号の処理、バルブパージ/閉塞、バルブ制御アナログ信号といった拡張機能をもたせることが可能です。型式に示されるいくつかのオプションに加え、要求に応じて様々な機能を盛り込むことができます。

  • Features
  • Applications
  • Flow capacities
  • Documentation & Video

特徴

  • 高精度 (標準 0.5% Rd プラス 0.1% FS)
  • レンジアビリティ (デジタルモード時) 最大1:150
  • 超高速応答
  • マルチガス・マルチレンジ機能 (25ガス対応/御注文時フルスケールの40-120%にリスケール可)
  • 定格圧力 10 / 64 / 100 bar
  • アナログI/O信号、RS232通信。オプションでバス通信用ボード搭載可
  • 多様なI/Oカスタマイズ (オプション)
  • ユーザー様ご自身で動作特性の調整可能
  • 堅牢な金属製ハウジング (IP-40)
  • 電気計測器の製品安全の国際規格(IEC 61010-1)適合

適用分野

  • 分析・環境計測装置
  • 食品・化学・石油化学分野でのガス流量監視
  • 構内ガス分配システムの課金向けガス消費量監視 
  • 製品のガス漏れ量検知
  • 半導体製造
  • 表面処理設備

などなど。

マスフローメータ (MFM);

PN100 (圧力レンジ 100 bar)

レンジ

シリーズ FG-110C min. 0,014 ... 0,7 mln/min
max. 0,18 ... 9 mln/min
シリーズ FG-110CP
Pressure Insensitive
min. 0,014 ... 0,7 mln/min
max. 0,18 ... 9 mln/min 
シリーズ FG-111B min. 0,14 ... 7 mln/min
max. 0,4 ... 20 ln/min
シリーズ FG-111BP
Pressure Insensitive
min. 0,014 ... 0,7 mln/min
max. 0,18 ... 9 mln/min 
シリーズ FG-111AC min. 0,2 ... 10 ln/min
max. 2 ... 100 ln/min

マスフローコントローラ (MFC);

PN64 / PN100

圧力レンジ

レンジ

シリーズ FG-200CV

PN64

min. 0,014 ... 0,7 mln/min
max. 0,18 ... 9 mln/min
シリーズ FG-200CVP
Pressure Insensitive

PN10

min. 0,014 ... 0,7 mln/min
max. 0,18 ... 9 mln/min
シリーズ FG-210CV

PN100

min. 0,014 ... 0,7 mln/min
max. 0,18 ... 9 mln/min
シリーズ FG-210CVP
Pressure Insensitive

PN100

min. 0,014 ... 0,7 mln/min
max. 0,18 ... 9 mln/min
シリーズ FG-201CV

PN64

min. 0,14 ... 7 mln/min
max. 0,4 ... 20 ln/min
シリーズ FG-201CVP
Pressure Insensitive

PN10

min. 0,14 ... 7 mln/min
max. 0,4 ... 20 ln/min
シリーズ FG-211CV

PN100

min. 0,14 ... 7 mln/min
max. 0,4 ... 20 ln/min
シリーズ FG-211CVP
Pressure Insensitive

PN100

min. 0,14 ... 7 mln/min
max. 0,4 ... 20 ln/min
シリーズ FG-201AV

PN64

min. 0,2 ... 10 ln/min
max. 2 ... 100 ln/min
シリーズ FG-211AV

PN100

min. 0,2 ... 10 ln/min
max. 2 ... 100 ln/min

マスフローコントローラ (MFC)
with integrated shut-off valve

PN10 (圧力レンジ 10 bar)

レンジ

シリーズ FG-201CS min. 0,14 ... 7 mln/min
max. 0,4 ... 20 ln/min
シリーズ FG-201CSP
Pressure Insensitive
min. 0,14 ... 7 mln/min
max. 0,4 ... 20 ln/min

カタログ

詳細はカタログをご覧下さい。

取扱説明書

取扱説明書
取扱説明書(簡易版)



製品紹介動画

EL-FLOW Prestige サーマルマスフローメータ/コントローラ (動作原理)
Bronkhorst High-Tech EL-FLOW® Prestige サーマルマスフローメータ/コントローラの動作原理の解説動画です。

Honorable mention for EL-FLOW Prestige - Flow Control Innovation Awards
2017Mass Flow Controller FG-201CV EL-FLOW PrestigeMass Flow Meter FG-110C EL-FLOW PrestigeFG-201CVP Pressure Insensitive Mass Flow Controller
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