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EL-FLOW®Select - ラボラトリースタイル(IP-40ハウジング)
ガス用マスフローメーター / コントローラー

はじめに

EL-FLOW® Select シリーズマスフローメータ/コントローラは、PCボードがラボラトリー用ハウジング(IP40)に収納されたサーマル式流量計・調整器です。調節弁はボディー直結型と分離型があります。各種ガスの質量流量計測・制御にご利用いただけます。流量レンジは下記の通りです。

最小レンジ 0.014...0.7 mln/min
最大レンジ 8...1,670 ln/min

マスフローコントローラ用調節弁の設計コンセプトは、他マスフローコントローラメーカーのそれとは異なり、モジュール構造で、ユーザーが再調整すること無しに現場で交換できる能力を備えています。標準バルブはノルマルクローズでKv値1.5までご利用できます。又、ノルマルオープンもご利用いただけます。

EL-FLOW®シリーズは高圧・高差圧向けに特許取得構造のユニークな調節弁をご用意しております。一次圧、二次圧の変動、差圧の変動(40 MPa(d)まで)に対応可能です。 高圧向けマスフローメータ/コントローラについての詳細はこちら

デジタル = スタンダード

EL-FLOW Selectシリーズの全てのモデルはデジタルPCボードを備えており、自己診断、アラーム、カウンター、デジタル通信及びリモートコントローラ調整機能などがあります。ブロンコスト・ハイテックのデジタル計器は"マルチバス"コンセプトのおかげで多くのフレキシビリティーを持っています。オプションで相当するインターフェースボードを装着することにより簡単にDeviceNetTM, Profibus-DP®, Modbus-RTU 又はFLOW-BUSプロトコールに対応できます。デジタル"マルチバス"通信についての詳細はこちら

マルチガス/マルチレンジ(オプション)

EL-FLOW Select 計器にはオプションで マルチガス/マルチレンジ機能を提供いたします。このオプションはユーザーへ初期の計測・制御レンジアビリティー及び精度を維持しつつ、ガスタイプ及びレンジ選定において多くのフレキシビリティーを提供します。従って、これらの計器をご利用のユーザーは現場で計器のスケール変更がその場で簡単にできるため、機器の取り外し/取り付けに要する時間をセーブできます。ユーザーの利便のために、ブロンコストハイテックは操作の容易なソフトウエア"FlowTune"を開発いたしました。このソフトでSelect 計器のコンフィギュレーション変更(マルチ流体/マルチレンジ)が容易にできます(オーダー時にお申し付けください)。

Multi Gas / Multi Range

特徴

  • 高精度(標準 0.5% Rd + 0.1% FS)
  • レンジアビリティー(デジタルモード)1:187.5
  • 高速応答 (最短200 msec)、高繰返し性
  • マルチガス/マルチレンジ機能: フリープログラマブルレンジ及びガスタイプ
  • 圧力定格64 / 100 bar (マルチガス/マルチレンジ機能;10 barまで)
  • 高圧バージョンもご利用いただけます
  • アナログI/O信号, RS232通信; (オプション)フィールドバスインターフェース
  • エレクトロ-ケミカルポリッシング・サーフェース
  • コンパクト/モジュラー構造
  • メタルシール/ダウンポートモデルもご利用いただけます

適用例

  • 分析計/環境機器
  • 食品、化学、石油化学分野におけるガス流量のモニタリング
  • ガス供給設備におけるガス消費量計測(除く取引用)
  • ガスリーク検査
  • 半導体分野
  • 表面処理等

流量範囲 (Air換算流量)

マスフローメータ (MFM);

PN100 (圧力レンジ 100 bar)

レンジ

シリーズ F-110C min. 0,014 ... 0,7 mln/min
max. 0,06 ... 9 mln/min
シリーズ F-111B min. 0,16 ... 8 mln/min
max. 0,16 ... 25 ln/min
シリーズ F-111AC min. 0,4 ... 20 ln/min
max. 0,6 ... 100 ln/min
シリーズ F-112AC min. 0,8 ... 40 ln/min
max. 1,4 ... 250 ln/min
シリーズ F-113AC min. 4 ... 200 ln/min
max. 8 ... 1670 ln/min

マスフローコントローラ (MFC);

PN64 / PN100

レンジ

シリーズ F-200CV / F-210CV 1) min. 0,014 ... 0,7 mln/min
max. 0,06 ... 9 mln/min
シリーズ F-201CV / F-211CV 1)
min. 0,16 ... 8 mln/min
max. 0,16 ... 25 ln/min
シリーズ F-201AV / F-211AV 1) min. 0,4 ... 20 ln/min
max. 0,6 ... 100 ln/min
シリーズ F-202AV / F-212AV 2) min. 0,8 ... 40 ln/min
max. 1,4 ... 250 ln/min
シリーズ F-203AV / F-213AV 2) min. 4 ... 200 ln/min
max. 8 ... 1670 ln/min

1) 小流量では小型直動型バルブ使用
2) 大流量ではパイロット駆動型バルブ使用

カタログ

詳細は製品カタログEL-FLOWおよびマルチガス・マルチレンジ機能カタログ Mass Flow Selectをご覧下さい

マスフローコントローラ - F-201CVマスフローメーター  F-110Cマスフローメーター F-112AC 高圧マスフローコントローラ F-232M高いガス流量用マスフローコントローラ - F-203AV MFC
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