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EL-FLOW® メタルシールタイプ
ガス用マスフローメータ/ コントローラ

始めに

ブロンコストハイテックのメタルシールタイプマスフローメータ/コントローラはすばらしい再シール機能を持った特許取得のユニークなメタル/メタルシール構造です。更に、高表面品質であることから特に半導体分野や高純度を必要とする分野に適しています。マスフローメータ/コントローラのベースブロックは1/4" face seal male (VCR)。流量レンジは;

最小レンジ;0.12...6 mln/min
最大レンジ;1... 50 ln/min

今の計器はdigital pc-board, を備えており、高精度、すばらしい温度安定性、高速応答(セトリング時間; t98;500 msec以下)を提供します。最新のEL-FLOW® デザインバージョンはマルチガス/マルチレンジ機能を備えていますので、顧客(特にOEM)へ最適な柔軟性及びプロセス効率を提供いたします。顧客の便利のためにブロンコストは簡単で容易なフリーソフト configuration software.を準備しています。

特徴

  • 再使用可能なメタル/メタルアウターシール構造(リング無し)
  • 電解研磨仕上げ接液部
  • クリーンルーム内組立
  • マルチガス/マルチレンジ機能
  • アナログ及びデジタルI/O, オプションインターフェース;
    DeviceNet™, PROFIBUS DP, Modbus-RTU 又は FLOW-BUS
  • 超安定ゼロ (オートゼロ回路不要)
  • 高精度、高繰返し性

流量キャパシティー (空気ベース)

マスフローメータ (MFM)

レンジ

モデル F-111CM min. 0,12 ... 6 mln/min
max. 1 ... 50 ln/min

マスフローコントローラ (MFC)

レンジ

モデル F-201CM min. 0,12 ... 6 mln/min
max. 1 ... 50 ln/min

カタログ

更に詳しくは "METAL SEALED Digital Mass Flow / Pressure Meters and Controllers"

F-201CM メタルシールマスフローコントローラF-111CM メタルシールマスフローメーター
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