IN-FLOWCTA - インダストリアルスタイル
ガス用ダイレクトマスフローメータ/コントローラ

始めに

IN-FLOWCTA シリーズマスフローメータ/コントローラ はモジュール工法で電気部はIP65の堅牢なエンクロージャーに収納されています。マスフローコントローラはコントローラ部と調節弁が一体型又は分離型で提供されます。流量計測・制御レンジは以下のようになります;

最小レンジ;10 ... 200 mln/min
最高レンジ;50 ... 5000 ln/min

スルーフロー計測

IN-FLOWCTA シリーズは定温度アネモメータ原理を応用したバイパス無しのフロースルー計測原理をベースにしたマスフローメータです。機器には稼動部がなく、流量パスには何の障害物も存在いたしません。従って、低圧損アプリケーションに適しています。 又、構造上パーティクルやミストにも鈍感ですので、そのようなガスへも適用可能です。

流量制御

マスフローコントローラとしては調節弁と組合わせることにより完成されます。 一体型、分離型がご利用いただけます。調節弁は比例電磁弁タイプで、高速、スムーズな特性を有しています。アプリケーションによって各種の調節弁を用意しています;高流量から低流量、高圧から低圧、低圧損から高差圧まで。標準バルブはノルマルクローズ型でKv値6.0まで、又、ノルマルオープン型も供給可能です。

デジタル = 標準

標準でアナログI/O信号及びRS232を有します。これに加えて、オプションでインターフェースボードを加えることによりDeviceNet™, Profibus-DP®, Modbus または FLOW-BUSプロトコールに対応できます。標準のメインボードはPIDコントローラ、アラーム、自己診断機能等を既に有しています。マルチバス通信に関する詳細はこちらをご覧ください。

特徴

  • 実質的にパーティクルやモイスチャーに鈍感
  • 低圧損
  • 精度: 1% FS + 1% RD
  • レンジアビリティー;1 : 100
  • 堅牢な耐候性IP65ハウジング
  • ATEX for Zone 2認証バージョンご利用可能
  • アナログ又はデジタル通信 (RS232又はフィールドバスインターフェース)

適用分野例

  • 食品、化学、石油化学、醗酵やバイオ分野におけるプロセスガスの計測・制御
  • 環境分析計におけるサンプルガス計測・制御
  • 社内会計のためのガス消費量計測
  • 嫌気性ダイジェスターによるメタン生成プロセス
  • 表面処理分野
  • 各種テストベンチ

流量キャパシティー(空気ベース)

マスフローメータ (MFM)

レンジ

シリーズ T10 min. 0,01 ... 0,2 ln/min
max. 0,02 ... 2 ln/min
シリーズ T11 min. 0,02 ... 1 ln/min
max. 0,05 ... 5 ln/min
シリーズ T12 min. 0,1 ... 5 ln/min
max. 0,5 ... 50 ln/min
シリーズ T13 min. 0,4 ... 20 ln/min
max. 4 ... 200 ln/min
シリーズ T14 min. 2 ... 100 ln/min
max. 10 ... 1000 ln/min
シリーズ T15 min. 10 ... 500 ln/min
max. 50 ... 5000 ln/min

マスフローコントローラ (MFC)

レンジ

シリーズ T20 (Kv-max 6.6E-2) min. 0,01 ... 0,2 ln/min
max. 0,04 ... 2 ln/min
シリーズ T21 (Kv-max 6.6E-2) min. 0,02 ... 1 ln/min
max. 0,1 ... 5 ln/min
シリーズ T22 (Kv-max 6.6E-2) min. 0,1 ... 5 ln/min
max. 1 ... 50 ln/min
シリーズ T23 (Kv-max 3.5E-1) min. 0,4 ... 20 ln/min
max. 4 ... 200 ln/min

マスフローメータと調節弁の典型的な
組合せ(短管アダプター接続型)

レンジ

T13 + F- 002AI up to 4 ... 200 ln/min;
Kv-max. 0,4
T13 + F- 004AI up to 4 ... 200 ln/min;
Kv-max. 0,3
T14 + F- 003AI up to 20 ... 1000 ln/min;
Kv-max. 1,5
T14 + F- 004BI up to 20 ... 1000 ln/min;
Kv-max. 1,0
T15 + F- 003BI up to 100 ... 5000 ln/min;
Kv-max. 6,0

カタログ

詳細はカタログをご覧ください。

※純H2, 純Heおよびこれらを10%以上含む混合ガスには適しません

※2018年8月末で製造・販売終了の予定です。MASS-STREAMをご利用下さい。

T12 Mass Flow MeterT21 Mass Flow ControllerT13 Mass Flow Meter高いガス流量用マスフローコントローラ - IN-FLOWCTA T23T14 Mass Flow MeterT15 Mass Flow Meter
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