チップセンサー採用IQ+FLOW®
ガス用マスフローメータ/コントローラ

始めに

装置製造メーカーはシステム小型化のためにガス流量及び圧力モニターや制御ループの小型化を追及しています。以前は、例えばNeSSIシステム等仕様に明記されていますように、通常サイズ(フートプリント1.5”)のマスフロー及び圧力計が必要でした。しかし、現在はTNO-TPD(応用物理に於いては先端オランダ研究機関)との緊密な共同作業によってブロンコストハイテックはIQ+FLOWマスフローセンサーを開発するにいたりました。マイクロソリッドステート技術(MEMS)のおかげでブロンコストはなんとフートプリントが0.75”のウルトラコンパクトな流量、圧力調節計を開発、提供しています。

本質的な高品質のため、特徴は...

  • 流量レンジ 0.2...10 mln/minから 0.1...5 ln/min (フルスケール値)まで
  • 熱的にバランスしたチップセンサーのおかげで、非常に安定したゼロベース
  • コンパクト組のため高スペース効率
  • 経済的ソリューション、ローコストオブオーナーシップ
  • 高速応答、<300 msec
  • アナログ及びデジタル通信 (RS232 / RS485)

顧客仕様によるカスタム設計

IQ+FLOWシリーズのマイクロシステム技術をベースにして、ブロンコストハイテックはコンパクトなマニホールドへ各種機能モジュールを組合わせたカスタム設計、製作も提供しています。IQ+FLOW manifold solutions を参照ください。

分析計等への適用

フートプリント0.75”のウルトラコンパクトモジュールを利用した分析計への適用例:

  • ガスクロマトグラフのサンプルインジェクター側の流量-プレッシャー制御
  • GC又はHPLCディテクター側の流量制御
  • FFIDディテクターの流量制御

カタログ

更に詳しくは;"IQ+FLOW Micro Solid State Controllers"

Miniature Mass Flow Controller Top mount MFC
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