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EL-PRESSメタルシールタイプ圧力メータ/コントローラ

Bronkhorst® のメタルシールタイプ圧力メータ/コントローラは、特許取得済みのユニークな金属シール構造を有しており、優れたシール性を有します。さらに、製品は接液部の高い表面精度を有し、半導体業界をはじめ高純度ガスのハンドリングに適しております。継ぎ手は圧力メータ/コントローラの台座部分と一体(削り出し)の1/4"金属面シール継手となっており、リークポイントの削減と高いシール性を有します。

最小圧力レンジ0.2 ... 10 kPa (絶対圧またはゲージ圧)
最大圧力レンジ 0.128...6.4 MPa (絶対圧またはゲージ圧)

計器にはデジタルPCボードが採用され、高精度、高速応答、優れた温度安定性をもちます。

特徴

  • 再組み立て可能なメタル-メタル外部シール構造 (リングなし) 
  • 接液部部品に電解研磨処理
  • クリーンルームにて組み立て
  • アナログ/デジタルI/O (標準)と、オプションでDeviceNet™, Profibus-DP®, Modbus-RTU, EtherCAT, FLOW-BUSに対応 
  • 高精度・高繰返性
  • プロセス体積が変化する場合にも安定した制御を実現

圧力レンジ

Metal Sealed Pressure Meters
   Models P- 502CM
min. 2 ... 100 mbar (0,029 ... 1,43 psi)
max. 1,28 ... 64 bar (18 ... 900 psi)
Forward pressure controllers
   Models P-602CM

min. 7 ... 350 mbar (0,1 ... 5 psi)
max. 1,28 ... 64 bar (18 ... 900 psi)

後方圧力コントローラ
   シリーズ P-702CM

min. 7 ... 350 mbar (0,1 ... 5 psi)
max. 1,28 ... 64 bar (18 ... 900 psi)

センサーコード、圧力レンジと最大圧力

(EL-PRESSメタルシールタイプ搭載センサ)

Sensor code Pressure ranges
(Full scale values;
intermediate ranges available) 
高圧
絶対圧力
350A
1K1A
6K0A
21KA
M10A
M40A

100 ... 350 mbara
0,35 ... 1,1 bara
1,1 ... 6 bara
6 ... 21 bara
20 ... 100 bara
100 ... 400 bara 

1,0 bara
3,1 bara
10,5 bara
62 bara
200 bara
500 bara
Relative pressure
100R
350R
1K1R
6K0R
21KR

35 ... 100 mbarg
100 ... 350 mbarg
0,35 ... 1,1 barg
1,1 ... 6 barg
6 ... 21 barg

0,7 barg
1,0 barg
3,1 barg
10,5 barg
62 barg
Differential pressure
300D
1K0D
4K0D
15KD

100 ... 300 mbard
0,3 ... 1 bard
1 ... 4 bard
4 ... 15 bard

2,5 bard
4 bard
7 bard
30 bard

カタログ

仕様などの詳細は"こちら"をご覧ください

P-702CM Metal Sealed Pressure ControllerTA-702CM Metal Sealed EPS, topmount design
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