理論

サーマル(熱式)マスフローメータ/コントローラは、ガスおよび液体の熱伝導率をもとに質量流量を測定しています。

コリオリ測定原理に基づく質量流量計は、流路であるセンサーチューブを振動させています。流体が流れると質量流量に比例して変化する周波数/位相/振幅から質量流量を計測しています。

Bronkhorst^® ES-FLOW流量メータは、非常に内径の小さいセンサーチューブ内の超音波の伝搬により流量測定を行います。

Bronkhorst^® EL-PRESS圧力計はピエゾ抵抗素子ブリッジをシリコンチップの表面に配置したセンサーです。

マスフロー制御においては、常時出力信号と電圧源などからの設定信号を比較します。設定信号と測定信号の間に差異がある場合、2つの信号が一致するまでソレノイドコントロールバルブ開度を調整します。

蒸気発生システムは、液体用マスフローコントローラ・キャリアガス用マスフローコントローラ・温度コントロール機能(C)付き蒸発(E)混合(M)装置(CEM)と電源・リードアウト・コントロールユニットから構成されます。

Bronkhorstのガス用サーマルマスフローメータ・コントローラの流量範囲は、l_n/min, sccm, m³_n/hなどの単位で指定されます。これらの単位は体積単位のように見えますが、実際にはマスフローの表現です。