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圧力測定

Bronkhorst®のEL-PRESSの圧力センサーは、シリコンチップ表面上のピエゾ抵抗ブリッジです。このチップは裏面に穴があいており、チップの内側が圧力ダイヤフラムを形成します。この厚さにより、圧力レンジが決まります。このチップに圧力が加わると、ダイヤフラムが歪み、ピエゾ抵抗ブリッジの抵抗値が圧力に比例して変化します。測定セルは、薄くて敏感なステンレススチールダイヤフラムによって外圧から分離され、ダイアフラムとセルとの間の密閉キャビティは油で満たされています。

製品ページ: EL-PRESS -- EL-PRESSメタルシール -- IN-PRESS(IP65) -- IP+FLOW

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