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蒸気制御'CEM'の理論と特長

室温下にて、液体(化学反応の前駆体や加湿のための水)が不活性ガス雰囲気下の加圧により、または膜を通して原液容器からくみ上げられ、液体用マスフローメータにより流量が測定されます。設定値により指定された体流量は制御弁(C, Control valve)により制御され、この制御弁は独自の気液混合弁(M, Mixing)の一部を構成しています。混合弁内で形成された気液混合物は気化器に導入され、完全に気化(E, Evaporation)されます。これがブロンコストの液体搬送システムCEM(Control - Evaporation - Mixing)の3つの基本的な機能の説明です。これにCEM運転のための電源内蔵表示設定器を加えるとシステムが完成します。

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CEM:制御された蒸発・混合

  1. 高速での蒸発
  2. 前駆体が高温に晒されるのは短時間のみ
  3. 不安定な前駆体に適合
  4. 配管中の圧力・温度の影響は軽微/無し
  5. 液体用フローコントローラによる前駆体の精密供給
  6. 低温に保った液源からの前駆体供給

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